安川機械手XU-RCM5020

 

        這臺安川迷你機械手XU-RCM5020是用于半導體晶圓搬運，投入產(chǎn)線已有多年，現(xiàn)在是機械手啟動不了，需要檢測故障部件所在。

 

安川機械手XU-RCM5020

 

安川機械手XU-RCM5020

 

安川機械手XU-RCM5020

 

檢測電機SCMAH-A3C1A-YB31

 

安川機械手XU-RCM5020

 

       檢測輕量組合型諧波減速機CS-11-50-1U-SP

       輕量組合型諧波減速機具有高轉(zhuǎn)矩容量、無齒隙、輸入輸出同軸、單級同軸可獲得1/30～1/320的高減速比。

 

安川機械手XU-RCM5020

 

檢測控制器XU-CM5510

安川機械手XU-RCM5020

 

       RV減速器的高精度和高負載能力使其成為精密制造和檢測設備的理想選擇，如半導體制造設備中的氧化爐、涂膠顯影設備、光刻機、刻蝕機、離子注入機等設備。